ASML и Intel заявили, что последняя достигла значительного успеха в работе с новейшей литографической системой ASML High-NA, включив источник света и сделав так, чтобы световой поток попадал на подложку.
Это свидетельствует о том, что источник света и зеркала выровнены правильно, что является критически важным шагом в процессе выращивания. «Первый свет» свидетельствует о том, что один из основных компонентов системы Twinscan EXE:5000 работает, хотя еще и не на пике производительности.
В настоящее время Intel собирает свою первую литографическую машину Twinscan EXE:5000 на своем заводе вблизи Хиллсборо, штат Орегон.
Читать на itc.ua