В Перми повысили технологичность производства фотонных интегральных схем
Старший научный сотрудник Центра компетенций НТИ «Фотоника» при ПГНИУ Ульяна Салгаева разработала новую технологию обработки оптических материалов в водородной плазме.
Разработка ученого из Перми повышает технологичность процесса изготовления элементов фотонных интегральных схем (ФИС). Благодаря новому методу уменьшается количества брака при производстве ФИС, что делает эту технологию доступнее для использования в системах связи, навигации и медицине. «В технологиях производства микроэлектроники наблюдается тенденция перехода от так называемых “мокрых” (жидкостных) химических процессов, то есть тех, в которых используются растворы кислот, щелочей, к “сухим” плазмохимическим процессам.
Аналогичная тенденция имеет место и в технологиях производства ФИС», — комментирует кандидат физико-математических наук Ульяна Салгаева.
Читать на 59i.ru
