Китайские специалисты сообщили о планах разработать сканер для иммерсионной литографии в глубоком ультрафиолете, который должен будет выйти на рынок в четвертом квартале 2021 года.
Оборудование создается с применением материалов и технологий только из Китая и Японии. Для китайской электронной отрасли создание сканера будет большим прорывом.
Дело в том, что специалисты хотят создать установку, которая позволит производить чипы с техпроцессом до 28 нанометров (сейчас же система функуионирует до 90 нанометров).
Читать на newinform.com